「日本の報復を予期して去年から準備してあった」と韓国企業関係者が暴露　素材国産化の準備を進めていた

25日、業界によると、 SKグループの系列 SKマテリアルズが今年内サンプル供給を目指しフッ化水素生産準備に乗り出したことが確認された。SKマテリアルズの関係者は「現在、関連生産設備を開発している」とし「今年末のサンプル供給が目標」と述べた。SKマテリアルズが準備しているフッ化水素は「エッチングガス」だ。半導体回路を削るエッチング工程と、シリコンウェハーの異物を除去する洗浄工程用である。半導体製造には、液状形態のフッ化水素と気体の両方を組み合わせて使われる。液状製品が「エッチング液（Etchant）」であり、気体は「エッチングガス」だ。

SKマテリアルズは、独自の技術に基づいて気体の形のフッ化水素、すなわちエッチングガスを作って、半導体業界に供給するという計画である。サンプルが出てくる時点が、今年末であることを勘案すれば、本格的な量産と供給は来年上半期中と予想される。SKマテリアルズは、1982年から半導体材料を専門にしてきた。半導体、ディスプレイ、太陽電池などに使用される三フッ化窒素（NF 3）を国内で初めて国産化に成功した。また、六フッ化タングステン（WF 6）のような蒸着ガス、石油化学・鉄鋼などに適用される産業ガスを供給している。

大白物産から出発して、2008年OCIに編入され、2015年にはSKがOCIマテリアルズを買収しSKグループの系列会社になった。SKマテリアルズがフッ化水素の製造に乗り出すのは初めてだ。会社側は「これまで原料となるフッ素（F）を扱っていたし精密ガス技術力とノウハウが蓄積され、高純度フッ化水素を製造することができる基盤を備えたものと判断した」と伝えた。

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